2019.11.20(수)

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이부섭 동진쎄미켐 회장 "EUV용 PR, 시간이 해결" 일본 원료 수입 '이상 無'…3000억 넘는 EUV 노광장비 사용 '정부 지원' 필요

이정완 기자공개 2019-10-14 08:11:05

이 기사는 2019년 10월 11일 07:10 더벨 유료페이지에 표출된 기사입니다.

이부섭 동진쎄미켐 회장이 일본 수출 규제 품목인 EUV용 포토레지스트(감광액) 국산화를 기대하는 시각에 다소 여유를 갖고 지켜봐줄 것을 당부했다. 기술 고도화에 시간이 더 필요하다는 설명이다. 동진쎄미켐 측에선 EUV용 포토레지스트 시험을 위한 장비 지원 등 정부 도움이 필요한 상황이라고 강조하기도 했다.

이부섭 회장은 지난 8일 '한국전자전(KES)' 행사장에서 만나 "시간이 해결할 것"이라며 "너무 걱정하지 말아달라"고 말했다. 이 회장은 이날 동진쎄미켐을 세계적인 부품소재 기업으로 성장시킨 것에 대해 국내 전자산업 60주년을 기념해 전자산업 공로패를 받았다.

동진쎄미켐은 EUV용 포토레지스트 개발 성공 여부를 놓고 업계의 관심을 한몸에 받고 있다. 동진쎄미켐은 지난 9월 EUV(극자외선) 공정의 전 단계로 꼽히는 ArF(불화아르곤) 노광장비를 확보해 주목을 받았다. 이로써 ArF용 포토레지스트 자체 시험 역량을 확보할 수 있었기 때문이다.

이부섭
지난 8일 서울 강남구 코엑스에서 열린 한국전자전 개막식 행사에서 이부섭 동진쎄미켐 회장이 김기남 한국전자정보통신산업진흥회장(삼성전자 부회장)으로부터 전자산업 공로패를 수상하고 있다.

동진쎄미켐은 반도체 소재 주요 고객사로 삼성전자와 SK하이닉스를, 디스플레이 소재 주요 고객사로는 LG디스플레이와 삼성디스플레이를 확보하고 있다. 회사가 올해 상반기까지 기록한 매출 4307억원 중 60%에 달하는 2493억원이 감광액, 습식용액(Wet Chemical) 등 국내전자재료 사업에서 발생했다.

특히 삼성전자와 맺은 관계는 더욱 끈끈하다. 삼성전자는 2017년 11월 동진쎄미켐 지분 투자를 시작해 현재 회사 지분 4.8%를 보유하고 있다. 이 회장은 "(삼성전자와) 같이 커오고 같이 살아가고 있다"며 "삼성전자 일이 우리의 일이다"고까지 말했다.

일본 소재 수출 규제 이후 아직 회사 실적에 큰 변화는 없는 상황이다. 지난 7월 일본 정부의 반도체·디스플레이 3개 품목 수출 규제 발표 이후 전자재료 판매가 늘었냐는 질문에 이 회장은 "(실적에 영향을 주기) 아직은 이르다"고 답했다.

동진쎄미켐은 포토레지스트 소재의 원료를 일본 업체로부터 수입하고 있다. 국내 기업으로 공급 받는 원료도 있으나 주요 업체는 일본 료요 트레이딩(RYOYO TRADING CO LTD)이다. 료요 트레이딩은 미쓰비시 화학 계열사로 1953년 설립된 화학제품 무역 전문 업체다.

소재업계 일각에서는 일본으로부터 원료 수입이 어려워지는 것이 아니냐는 의문도 나왔지만 이같은 문제는 없는 상황이다. 이 회장은 소재 원료 수입에 대해 "(문제가) 없다"고 답했다. 원료 수입과 무관하게 기술만 고도화하면 EUV용 포토레지스트를 생산할 수 있다는 것에 동의했다.

최근 일부 국산화에 성공했다고 알려진 고순도 불화수소보다 EUV용 포토레지스트의 국산화가 더 어렵다는 것이 이 회장의 분석이다. 그는 "불화수소는 독성이 강해 사고가 안나게 안전하게 처리하는 방법으로 (개발했을 것)"이라며 "(EUV용 포토레지스트는)시간이 문제"라고 말했다.

회사 관계자도 이 회장의 시각과 대체로 일치하는 의견을 보였다. 동진쎄미켐 관계자는 "일본 수출 규제 사태 전부터 EUV용 포토레지스트를 개발 중이었는데 규제 후 회사가 주목을 받기 시작했다"며 "일본업체가 기술적으로 앞서가는 상황이기에 따라가야 한다"고 말했다. 이어 "1년 내에 개발을 마친다고 말하기는 미지수인 상황"이라고 밝혔다.

이 관계자는 소재 국산화를 위한 정부의 실효성 있는 지원을 당부했다. EUV용 포토레지스트 시험을 위해선 EUV 노광장비가 필요한데 동진쎄미켐은 고가의 가격 탓에 장비를 사지 못하고 해외 연구소의 EUV 노광장비를 시간 단위로 빌려서 사용하는 현실이다. 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 독점하다시피하는 EUV 노광장비의 대당가격은 2000억~3000억원 수준이다.

회사 관계자는 "연매출이 8000억원 가량인데 한 대에 3000억원이 넘는 EUV 노광장비를 구매하기엔 무리가 있다"며 "정부에서 이같은 장비 사용을 위한 현실적인 방안을 마련해주면 좋을 것"이라고 말했다. 동진쎄미켐의 지난해 매출은 8272억원, 영업이익은 710억원이었다.

동진쎄미켐
동진쎄미켐 한국반도체대전 부스
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