이 기사는 2021년 03월 15일 13:59 thebell 에 표출된 기사입니다.

반도체·디스플레이 가공 및 세정부문 사업을 영위하는 ‘아이원스’가 일본이 장악하고 있는 반도체 공정용 쿼츠(Quartz) 시장에 도전장을 던진다. 자체 특허기술을 기반으로 올해 반도체 공정용 SiC(실리콘 카바이드) 포커스 링 시장에 진출하고, 2차전지 소재 등으로 품목을 다변화하겠다는 구상이다.

15일 금융감독원 전자공시에 따르면 아이원스는 오는 29일 경기도 안성 본사에서 열리는 정기주주총회에 신규사업 목적을 추가하는 내용의 정관 일부 변경의 건을 부의했다. 또 오진광 감사위원(사외이사) 선임의 건, 이사 보수한도 승인의 건, 주식매수선택권 부여의 건 등의 안건도 다룬다.

신규 사업목적은 △유리(Glass) 및 유리제품 제조업 △반도체 생산에 필요한 유리제품 제조 및 판매업 △이차전지 소재 제조 및 판매업 등이다. 아이원스는 기존 반도체 가공 및 세정 부품 사업에 글라스 관련 소재 사업으로 사업 포트폴리오를 확장하겠다는 방침이다.

아이원스가 구상하고 있는 신사업의 핵심은 이른바 ‘실리카 글라스(석영유리)’라고 불리는 쿼츠다. 지난해 4분기 쿼츠 대체재 관련 자체 생산기술의 특허를 등록하고, 현재 고객사 향 공정테스트를 진행하고 있다. 이르면 올해 하반기에 사업과 관련한 첫 매출을 실현한다는 목표다.

쿼츠는 가스함유량이 적고, 전기 전도성이 있는 알칼리 성분을 거의 포함하지 않은 부도체 물질이다. 가볍고, 내열성 및 내압성이 뛰어나 반도체 건식 식각(Dry Etching), 확산(Diffusion) 공정 등에 활용된다. 특히 소모성 재료인 SiC 포커스 링의 소재로 주목 받는 물질이다. D램의 적층이 고도화될수록 식각공정상에서 발생하는 열과 압력이 증가하기 때문에 SiC 포커스 링의 품질이 매우 중요하다.


SiC 포커스 링 시장은 현재 일본 화학소재기업 도카이카본(Tokai carbon)이 독점하고 있다. 도카이카본은 1996년 국내 기업인 케이씨와 함께 티씨케이를 설립, 기술과 소재를 제공하면서 20년 넘게 반도체 공정용 포커스 링을 생산하고 있다. 티씨케이는 어플라이드머터리얼즈(Applied Materials) 등 글로벌 장비회사를 통해 삼성전자의 물량 상당 부분을 공급하고 있다.

티씨케이는 국내 증시(코스닥)에 상장하고 있지만, 도카이카본이 최대 지분(44.4%)을 쥐고 있어 사실상 일본 기업으로 분류된다. 아이원스는 반도체 산업계의 화두가 된 ‘소재 국산화’ 흐름을 타고 도카이카본과 티씨케이가 압도하고 있는 SiC 포커스 링 시장에서의 존재감을 키우겠다는 목표다.

업계에 따르면 아이원스는 올해 상반기 내 세메스, 어플라이드머터리얼즈 등 장비회사에 공정테스트를 수행할 장비들을 셋업하고, 하반기 SiC 포커스 링 시제품을 출시한다는 방침이다.

포커스 링은 보통 식각공정 장비와 함께 엔드유저에 공급되는 구조인데, 삼성의 자회사인 세메스와 테스트를 수행하는 걸 두고 업계에서는 삼성전자 향 정식 공급의 가능성을 매우 크게 보고 있다. 향후 티씨케이와 시장 주도권을 놓고 ‘일합’을 겨룰 것으로 보는 이유다. 다만 첫 매출액 발생 시점은 공정테스트 결과에 달려 있다. 티씨케이 수준의 수율을 충족하지 못하면 더 지연될 수도 있다.

아이원스 관계자는 "올해 1분기 안에 고객사 향 테스트 장비 설치가 완료될 예정이지만, 본격적인 매출 발생은 내년으로 목표를 잡고 있다"면서 "SiC 포커스 링을 시작으로 쿼츠 대체재 제품을 확대해 나갈 것"이라고 말했다.