이 기사는 2024년 11월 25일 13:34 thebell 에 표출된 기사입니다.

반도체 소재·부품 기업 티씨케이(TCK)가 와이엠씨(YMC)·와이컴(WYCOM)과의 특허침해금지 및 손해배상청구소송에서 승소했다. 2020년 12월 특허침해금지소송 제기 이후 약 4년 만의 쾌거다.

티씨케이는 이번 승소를 바탕으로 실리콘카바이드(SiC) 링 시장 점유율을 되찾겠다는 계획이다. 와이엠씨·와이컴, 디에스테크노 등 경쟁사의 시장 진출로 SiC 링 시장 점유율이 꾸준히 감소하고 있는 상황이었다.

25일 업계에 따르면 서울중앙지방법원 제62민사부는 2020년 12월 티씨케이가 제기한 특허침해금지소송에서 와이엠씨 및 와이컴이 원고의 특허를 침해한 것으로 볼 수 있다는 판결을 최근 내렸다. 법원은 와이엠씨와 와이컴이 티씨케이의 특허를 침해해 SiC 링을 재생하는 생산 및 판매활동을 영위했다고 판단했다.

이번 판결로 특허침해금지 대상이 된 티씨케이의 특허는 △SiC 링의 내플라즈마성을 증대시키는 구조 △SiC 링 소재의 물성 특성 향상 등이다.

티씨케이 관계자는 재판 결과에 대해 "이번 판결에 따라, 와이엠씨와 와이컴은 티씨케이의 특허권을 침해하는 SiC 링을 재생하는 생산 및 판매활동 등을 하여서는 아니되고, 티씨케이에 특허침해에 대한 손해배상을 해야 한다"고 말했다.

SiC 링은 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 고정시켜 주는 역할을 담당하는 소모성 부품이다. 기존에 쓰이던 쿼츠나 실리콘 소재 부품보다 내구성이 높다는 장점이 있다. 식각챔버 내에 SiC 링이 주로 탑재되고 있다.

관련 시장은 부품 회사가 장비사를 통해 소모품을 공급하는 비포 마켓과 삼성전자, SK하이닉스 등 칩 메이커로 직납하는 애프터 마켓으로 나뉜다. 티씨케이는 비포 마켓 회사다. 티씨케이의 주요 고객사로는 램리서치, 어플라이드머티어리얼즈, 중국 장비사 A사 등이 있다.

티씨케이는 최근 애프터 마켓 기업의 SiC 링 시장 진출로 매출 성장률이 둔화된 상태다. 특히 지난해에는 전방 시장 업황 악화와 삼성전자, SK하이닉스 등 칩 메이커들의 애프터 마켓 부품 채용 확대로 매출 역성장을 기록했다. 티씨케이의 지난해 매출은 2267억원으로 2022년 매출(3196억원)과 비교해 29.1% 감소했다.

다만 이번 승소를 통해 SiC 링 시장 지배력이 높아져 매출 성장도 이뤄질 전망이다. 티씨케이 관계자는 "특허 무단침해 기업에 대해서는 단호하고 엄중하게 추가적인 법적 조치를 취할 계획이며, 보유하고 있는 특허들에 대한 추가적인 권리행사도 검토 중에 있다"며 "지금까지와 같이 기술 위주 경영에 주력하면서, 정당한 권리를 보호받기 위한 지식재산권 확보 및 권리행사에 만전을 기할 것"이라고 밝혔다.

티씨케이는 와이엠씨·와이컴과의 소송 외에도 디에스테크노를 상대로 한 SiC 링 제조 관련 특허침해금지소송을 2019년 9월부터 진행 중이다. 티씨케이 고위 관계자는 "(와이엠씨·와이컴과의 특허침해금지 및 손해배상청구소송에서 승소함에 따라) 디에스테크노와의 소송결과도 유의미한 결과가 나올 확률이 커졌다"고 자신했다.