이 기사는 2021년 01월 14일 15:37 thebell 에 표출된 기사입니다.

지난 4일 이재용 삼성전자 부회장이 새해 첫 경영 행보로 선택한 방문지는 삼성전자 평택 2공장. EUV(극자외선) 공정을 전담할 전용라인이다. EUV 공정은 초미세 반도체 회로를 그려내는 데 특화된 프로세스다. 삼성전자는 3차원 적층을 통해 7nm(나노미터), 5nm 등 초미세 공정으로 시스템 반도체 분야에서 '초격차'를 달성하겠다는 포부를 드러냈다.

고사양 초미세 패턴의 시스템 반도체 회로를 그리는 과정에서 핵심적인 소재가 바로 포토레지스트(PR)다. 연필(광원)이 가늘어지는 만큼 밑그림의 틀이 되는 PR의 품질 역시 지속적으로 향상되고 있다. '시스템 반도체 코리아'의 열쇳말이기도 하다. 일본, 미국의 주요기업들이 여전히 강세를 보이지만 2019년부터 소재국산화의 흐름을 타고 국내 메이커들도 두각을 드러내고 있다. 그중 하나가 '영창케미칼'이다.

영창케미칼은 올해 사업의 가늠쇠를 EUV에 두고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스 모두 올해 EUV 공정에 대규모 투자를 예고한 만큼 EUV 관련 소재를 신속하게 공정에 진입시키겠다는 방침이다.

이승훈 영창케미칼 대표는 "지난해 소재 국산화 선도기업으로 주목을 받았다면, 올해는 품질을 앞세워 글로벌 수준의 토탈 케미칼 기업으로 발돋움하겠다"면서 "특히 EUV 소재 개발에 올해 전사적 역량을 투입하겠다"고 말했다.

영창케미칼이 자체 개발해 주요 고객사에 공급하고 있는 PR 제품군은 다양하다. TSV Thick PR, i-Line PR, KrF PR(248nm)등 광원의 굵기에 따라 다종의 라인업을 구축했다. 국내 반도체 소재 관련 업체 중 사례를 찾아보기 힘들다. 특히 i-line 네거티브(negative) PR의 경우 2009년 국내 최초로 상용화하면서 업계의 주목을 받았다. 네거티브 PR은 박막의 효과적인 패터닝과 더불어 제거(식각)를 쉽게 하는 감광제로, 포지티브 PR에 비해 상대적으로 개발 난도가 높다. ArF(불화아르곤) PR (193nm)역시 수년 전부터 TF팀을 구성해 자체 개발을 진행하고 있다.

자체 개발역량을 앞세운 영창케미칼은 꾸준히 PR의 품질을 높이면서 현재 KrF PR을 넘어, ArF PR 및 EUV PR 개발에 속도를 내고 있다. EUV PR 개발 TF팀은 지난해 신설했다. EUV 광원 기술은 현재 5nm 수준까지 가능한 수준에 이르렀지만, PR의 경우 극나노 공정의 다중노광 및 다중패턴에 적용될 수준까지 개발되지 않은 상황이기 때문에 글로벌 메이커들이 개발에 사활을 걸고 있는 상황이다. 영창케미칼은 주요 고객사와 협업을 통해 EUV PR의 개발에 속도를 내 상용화를 앞당기겠다는 계획이다.

EUV 공정에 특화된 린스(Rinse)액, 시너(thinner) 등 소재는 올해 개발을 완료하고 라인에 본격 투입될 전망이다. 린스액의 경우 영창케미칼이 2004년 세계 최초로 포토(photo) 공정용 린스를 출시할 만큼 강점이 있는 품목이다. 포토 공정 시 패턴을 강화하는 데 필수 소재다. 영창케미칼 관계자는 "EUV 공정용 제품은 올해 상반기 개발을 완료하고, EUV 라인에 정식으로 투입될 예정"이라고 밝혔다.

이와 더불어 영창케미칼은 웨트케미칼(wet chemical) 제품도 막바지 개발을 완료하고, 올해 대거 시장에 선보인다. CMP(평탄화공정) 슬러리(Slurry)가 대표적이다. CMP 슬러리는 웨이퍼 패턴 형성 후 남는 부분을 폴리싱할 때 사용하는 소재다. 고부가가치 소재로 분류된다.

영창케미칼 관계자는 "몇 년 전부터 매출의 기여도가 큰 웨트케미칼 개발에 투자를 진행해 올해 고품질 텅스텐 슬러리(W touch & Buffing Slurry) 출시를 앞두고 있다"고 말했다. 텅스텐 슬러리는 같은 금속 계열 슬러리인 구리(Cu)에 비해 연마도가 우수하고, 전도성이 뛰어나 대체재로 각광 받고 있다.
영창케미칼은 2월 완공 예정인 성주4공장을 중심으로 ‘업사이드 포텐셜’ 웨트케미칼 및 신제품을 대량 양산한다는 목표다. 설비 구축까지 완료되면 연간 슬러리 2만4000t(톤), 포토 소재는 연 7만gal(갤런) 수준의 생산능력(capa)를 추가로 확보하게 된다. 지난해 200억원 가량이 투입됐다. 이를 통해 글로벌 수준의 토탈 케미칼 솔루션 기업으로 발돋움한다는 목표다.

이 대표는 "지난해 코로나19 팬데믹으로 글로벌 시장 진출에 어려움이 있었으나 그동안 꾸준히 개발해 온 신규 제품들이 올해 대거 출시되는 만큼 '영창' 제품의 세계화를 이뤄내겠다"고 말했다.

올해 영창케미칼은 안정적인 매출 성장을 기반으로 코스닥 상장에 도전한다. 올해 3분기께 상장예비심사를 청구하고, 연말께 상장을 완료한다는 방침이다. 주관사는 하나금융투자다.

IB업계 관계자는 "올해 반도체 업계의 슈퍼사이클이 점쳐지는 만큼 공정 케미칼의 수요 역시 많이 늘어날 전망"이라면서 "영창케미칼 등 소재 국산화를 이끄는 기업들에게는 큰 기회가 될 것"이라고 말했다.