이 기사는 2022년 10월 06일 14:32 thebell 에 표출된 기사입니다.

동진쎄미켐이 2022 반도체대전(SEDEX 2022)에서 선보일 대상에서 극자외선(EUV) 노광장비 포토레지스트(PR)를 제외했다. 국내 최대 반도체 관련 행사인 만큼 국산 EUV PR이 선보이지 않겠냐는 기대감이 풍부했지만, 동진쎄미켐은 아직 선보이기 적절하지 않다는 판단을 내렸다. 양산과 상용화에 앞서 막판 담금질 및 주요 고객사 거래를 위한 보안에 집중한 모습이다.

EUV PR은 반도체 초미세 회로패턴 공정에 사용되는 중요 소재다. 동진쎄미켐이 개발하기 이전까지 심각한 일본 기업 의존도를 가지고 있었다. 엑시머 레이저 공정에 사용되는 기존의 불화아르곤(ArF) PR과 달리 EUV PR은 극자외선의 높은 광에너지에 대응할 수 있도록 고밀도·고순도로 제작해야 해 높은 기술과 노하우를 요구한다.

◇꽁꽁 숨은 동진쎄미켐 EUV PR, 사업 본격화 앞서 철저 보안

반도체대전 동진쎄미켐 부스에서는 지난해 개발돼 올해 양산화 단계를 밟는 EUV PR의 모습을 찾아 볼 수 없다. 가장 최근에 개발 및 양산된 기술로써 전시된 것은 ArF PR 정도다. 곽노정 SK하이닉스 사장 한국반도체협회장과 함께 오후 전시장 VIP 투어에 참여한 양향자 의원(무소속)도 동진쎄미켐 부스를 관람한 뒤 EUV PR 전시에 대한 궁금증을 표현했지만 '아직 선보이기엔 적절하지 않았다'라는 내용의 답변을 받았다.

업계는 이를 두고 EUV PR의 완성도나 생산 문제가 불거졌다기 보다는 양산·상용화 시점에 돌입한 만큼 주요 고객사를 고려해 보안에 집중했다는 평가다. 이미 국내 업체에서 동진쎄미켐의 EUV PR을 채용하고 공급망에 점진적으로 투입하기 시작해 정리되지 않은 상태에서 외부에 공개하긴 조심스러웠다는 후문이다.


반도체 소재 업계 한 관계자는 "수주사 입장에서는 경쟁력 있는 제품을 개발했더라도 상세 내용을 고객사와 협의없이 섣부르게 전시하긴 어려운 것이 사실"이라며 "특히 양산 또는 상용화 단계가 목전일 경우 고객사의 반도체 제품 평가나 내부 상황 추측에 대한 단초가 될 수도 있어 더 조심하는 경우도 많다"고 설명했다.

동진쎄미켐 한 관계자 역시 "ArF PR과 달리 EUV PR의 경우 개발은 완료됐으나 반도체 대전 전시 계획에는 포함되지 않았다"며 "아무래도 가장 첨단 기술 쪽에 속하다 보니 보안에 힘써야 하는 문제도 있다보니 외부에 공개적으로 선보일 계획은 세우지 않은 것으로 안다"고 설명했다.

◇일본 독무대 뚫은 국산 EUV PR, 동진쎄미켐 외형·이익률 부스터

EUV PR은 ArF 광원보다 14배 강한 극자외선에 노출된다. 강한 광에너지로 미세한 공정이 가능하지만, 동일 에너지 내 광자 수가 적어 표면이 거칠어지고 PR 반응 떨어지는 문제가 있다. 이는 PR 내 '감광성화합물(패그, PAG)'와 반응 조절 물질인 '퀜처' 비중을 늘려 해결한다. 이들과 폴리머의 적정 배합을 찾아 내구성, 반응성을 살리는 것이 중요하다.

신에츠화학, 도교오카공업 등이 패그와 퀜처, 폴리머 적정 배합 노하우를 선점하고 있던 탓에 그간 글로벌 EUV PR 시장은 사실상 일본 기업의 독무대였다. 때문에 한일 무역분쟁에 이은 2019년 일본 화이트리스트(무역 신뢰 백색국가) 제외 당시 국내 반도체 업계의 일본 EUV PR 의존도가 지적받으며 빠른 국산화 필요성이 제기된 바 있다.

일본 기업의 점유율이 그동안 높았던 만큼 이제 첫 발을 뗸 동진쎄미켐의 EUV PR에 당장 높은 점유율을 기대하는 것은 어렵다. 대신 국내 반도체 업계는 물론 글로벌 고객사에 다른 대안을 제시할 수 있는 만큼 충분한 사업 경쟁력 상승 요인이 될 전망이다. 특히 기술 진입장벽이 높은 만큼 본격적인 양산에만 돌입한다면 삼성전자 등 국내 주요 공급망에 빠르게 안착해 높은 수익을 가져올 것으로 기대된다.

PR제품을 포함한 동진쎄미켐의 국내전자재료 사업부문 매출은 올해 상반기 3413억원을 기록했다. 지난해 상반기 2581억원에서 32.2%이상 증가한 실적으로 EUV PR의 공급망 투입이 본격화되면 실적이 한 층 제고될 것으로 보인다. 현재 13.5%인 동진쎄미켐의 전체 사업 이익률 역시 EUV PR의 높은 마진율을 기반으로 늘어날 가능성이 높다.