이 기사는 2024년 10월 29일 13:30 thebell 에 표출된 기사입니다.

미코그룹의 반도체 장비용 세라믹 소재·부품 계열사 미코세라믹스가 열압착(TC)본더용 부품 시장 공략에 나선다. 한미반도체에 스테이지 히터를 공급하는 한편 펄스 히터도 개발해 양산할 계획이다.

이를 위해 고객사와 펄스 히터 공동 개발도 진행 중이다. 펄스 히터는 TC본더뿐 아니라 하이브리드본더에도 탑재될 것으로 전망된다. 미코세라믹스가 관련 제품들의 국산화에 선봉장이 될 모양새다.

29일 업계에 따르면 미코세라믹스가 한미반도체에 TC본더용 스테이지 히터를 공급하고 있다. 스테이지 히터는 TC본더 하부에 장착되는 부품으로 웨이퍼 흡착, 웨이퍼 예열 기능을 담당한다.

미코세라믹스 관계자는 "(미코세라믹스가 개발, 공급 중인 제품 중) TC본더에 들어가는 부품은 크게 펄스 히터랑 스테이지 히터가 있다"며 "스테이지 히터의 경우 한미반도체 등 고객사에 납품 중"이라고 말했다.

미코세라믹스는 2020년 미코로부터 물적분할된 곳이다. 전공정용 세라믹 히터와 정전척, 스테이지 히터 등 제품을 주력으로 생산하고 있다. 회사의 주요주주로 코미코(지분 47.84%), 삼성전자(지분 13.72%), 미코(지분 7.66%) 등이 있다.

미코세라믹스의 스테이지 히터는 한미반도체의 HBM용 TC본더 '드래곤'과 '그리핀' 등 모델에 탑재 중인 것으로 추정된다. 한미반도체는 HBM용 TC본더 최대 공급사 중 하나다. SK하이닉스, 마이크론 등 기업에 장비를 공급 중이다.

미코세라믹스는 TC본더용 펄스 히터도 개발 중이다. 펄스 히터는 TC본더 상단에 장착되는 부품으로 HBM 적층 시 범프가 연결될 수 있도록 열을 가하는데 사용된다.

미코세라믹스 관계자는 "HBM 적층 단수가 높아질수록 (펄스 히터의) 승온, 냉각 속도가 빨라져야 해 기술적 난이도가 높다"며 "현재 제품 개발 중이며, 일부 (기업과는) 공동 개발도 하고 있다"고 설명했다. 이어 "펄스 히터의 경우 하이브리드 본더에도 사용될 수 있다"며 "열과 압력을 줘야하는 모든 공정에 사용할 수 있다"고 덧붙였다.

펄스 히터 공급이 본격화되면 미코세라믹스의 매출은 크게 늘어날 것으로 기대된다. 지난해 매출 1283억원, 영업이익 302억원을 기록했다. 내년 3월 완공 예정인 강릉 4공장도 매출 증대에 영향을 줄 요소다. 4공장은 연면적 1만2923㎡ 규모로 655억원이 투입돼 지어진다.

이런 가운데 미코세라믹스는 내년 기업공개(IPO)를 목표하고 있다. 이를 위해 내년 초 한국거래소에 상장예비심사 청구서를 제출할 예정이다.