이 기사는 2023년 11월 14일 15:58 thebell 에 표출된 기사입니다.

반도체 공정용 장비 제조사 '디아이티'가 주요 고객사 SK하이닉스의 HBM(고대역폭메모리) 출하 증가세에 힘입어 3분기 호실적을 기록했다. 특히 시장에서 주목하고 있는 전략장비 '레이저 어닐링' 장비의 매출이 3분기부터 산입되기 시작하면서 영업이익률이 눈에 띄게 개선됐다. 레이저 어닐링은 SK하이닉스와 공동 개발한 고마진 제품으로, SK하이닉스 HBM 선단 공정에 공급되고 있다.

14일 금융감독원 전자공시에 따르면 디아이티는 올 3분기 연결 매출액 308억원을 기록해 지난해 3분기 매출 383억원 대비 24.3% 하락한 수치를 보였다. 누적 매출액은 716억원을 기록, 전년 동기(868억원) 대비 17.5% 빠졌다. 전방 고객사들의 D램 호황의 끝물로 평가되는 지난해 3분기와 비교하면 매출 볼륨이 여전히 위축돼 있는 양상이지만, 중요한 것은 올해 흐름이다. 올해 유례없는 반도체 다운사이클이 덮치면서 전방 IDM(종합반도체사)를 비롯 코스닥 장비사들은 시린 계절을 감내했다.

SK하이닉스의 감산 기조 탓에 디아이티 역시 1, 2분기 연속 적자를 기록하면서 부진했다. 디아이티는 올 1분기 매출액 241억원, 영업이익 -15억원, 2분기 매출액 167억원, 영업이익 -9억원을 기록했다. 하지만 올해부터 SK하이닉스가 본격적으로 HBM 관련 선단 공정에 투자를 확대하면서 3분기부터 디아이티가 직접적인 수혜를 입고, 턴어라운드이 성공했다.

2005년 설립된 디아이티는 당초 반도체가 아닌 OLED 디스플레이 공정 관련 비전 검사기 제조사로 출발했다. 2010년 삼성디스플레이 협력회사로 등록된 후 사세가 확장, 자동차 외관 검사기, 형광잔상검사기, VIA HOLE 검사기 등으로 외연을 넓혔다. 2017년 레이저 커팅기를 자체 개발하면서 레이저 관련 기술을 고도화했다. 현재 AOI Solution(외관검사), LASER Solution(커팅 및 어닐링), VISION AI Solution(자동광학검사) 등으로 통해 매출을 올리고 있다.

이중 업계의 이목이 집중돼 있는 품목은 반도체 레이저 솔루션 중 하나인 '레이저 어닐링(Laser annealing)' 장비다. 레이저 어닐링 장비는 반도체 웨이퍼의 급속어닐링(RTA) 대비 뒤틀림 등 불량을 개선한 공정이다. 텅스텐 할로겐 램프를 활용한 RTA 방식이 현재 어닐링의 주류 공법인데, RTA는 결정적으로 웨이퍼 중앙 부분과 가장자리의 가열 온도가 달라 웨이퍼가 뒤틀리거나 단층이 발생하는 문제가 있어 이를 레이저로 조사해 열처리하는 게 레이저 어닐링이다. 레이저 조사 방식이기 때문에 열로 인한 불량 문제에서 자유롭다.


디아이티는 약 4년 간의 테스트 개발 기간을 거쳐 올해부터 SK하이닉스 HBM3E 양산 공정에 레이저 어닐링 장비를 투입하기 시작했다. HBM3E는 SK하이닉스가 최근 개발에 성공한 AI용 초고성능 D램 신제품이다. 1세대(HBM)-2세대(HBM2)-3세대(HBM2E)-4세대(HBM3) 순을 거쳐 HBM3 확장판 5세대로 평가된다.

업계의 말을 종합하면 디아이티는 현재까지 총 5대의 레이저 어닐링 장비를 SK하이닉스에 입고했다. 1대는 연구소에 연구장비 목적으로 설치돼 있고, 나머지 4대는 양산라인에 반입돼 선단 공정에 적용 중이다. 이중 2대가 9월 PO(구매주문)를 받으면서 149억원 규모의 공급계약을 공시했다. 레이저 어닐링 장비는 대당 단가가 50억~60억원에 달하는 하이엔드 장비다. 마진율은 50% 수준으로 파악된다.

디아이티는 고객사와의 NDA(비밀유지협약)로 인해 공식적인 레이저 어닐링 입고 상황을 공개하지 않았지만, 이번 매출액에 레이저 어닐링 관련 PO가 녹아 있는 것으로 파악된다. 1대 분량의 매출액과 영업이익이 녹아 있는 것으로 보인다. 유독 도드라지는 3분기 영업이익이 이를 방증한다. 통상 4%에서 많게는 9%대의 영업이익률을 보인 디아이티는 이번 3분기 16.88%의 이익률을 기록했다. 고마진 레이저 어닐링 매출이 정식 산입되기 시작하면서 수익성이 단번에 개선된 모양새다.

전망이 밝은 것은 SK하이닉스 HBM3E의 출고가 이어지면서 내년 라인투자와 관련, 디아이티의 레이저 어닐링 입고 역시 늘어날 가능성이 크다는 점이다. 업계에서는 내년 SK하이닉스가 60k~100k(웨이퍼 기준 6만~10만 장) 수준의 캐파 확장을 계획하고 있는 만큼 디아이티의 레이저 어닐링 장비 입고가 6대에서 10대까지 추가로 늘어날 수 있다고 예측한다. 어닐링 장비는 10k 캐파 당 1대가 들어간다.

이와 관련 디아이티 관계자는 "레이저 솔루션 관련 프로젝트 중 마진율이 높은 제품이 공급되면서 영업이익률이 개선됐다"면서 "레이저 어닐링 관련 구체적인 상황은 확인해주기 힘들다"고 말을 아꼈다.