이 기사는 2024년 04월 15일 14시56분 thebell에 표출된 기사입니다

EUV(극자외선) 펠리클을 개발하고 있는 에프에스티가 양산 거점 개발과 테크니션 채용에 속도를 내면서 양산 개발 경쟁을 본격화하고 있다. 현재 EUV 펠리클 국산화 경쟁은 에프에스티와 에스앤에스텍 '2파전'으로 펼쳐지고 있다. 시기의 차이는 있지만, 양사 모두 내년 고객사 양산 진입을 목표로 R&D(연구개발)에 전사의 역량을 투입하고 있다.

15일 업계에 따르면 에프에스티는 최근 부설연구소 연구, 양산개발 테크니션 채용 공고를 내고, 순차적으로 신규 R&D 담당 직원을 충원한다. 에프에스티는 공고에서 '에프에스티 방교사업장 연구개발팀 정규사원'을 모집한다고 밝혔다. 눈에 띄는 점은 상세내용 중 '반도체 소재품(마스크 보호 필름)' 연구개발을 담당하게 된다고 적시한 대목이다. 마스크 보호 필름은 펠리클을 의미한다.

방교사업장은 에프에스티가 EUV 펠리클 양산 거점으로 삼기 위해 지난해 말 시설투자를 단행한 섹터다. 에프에스티는 자회사 이솔이 위치한 경기도 화성시 방교동 일대에 토지를 확보하고, 내년까지 순차적으로 건축물을 비롯한 클린룸, 각종 설비 등을 구축한다. 1차적으로 330억원 가량의 투자금이 투입된다.

업계 관계자는 "내부 R&D 및 생산 직원들의 트레이닝 기간 등을 고려하면 완공 전에 채용하는 것이 일반적이긴 하지만, 이보다 앞서 선제적으로 채용을 진행하는 것을 보면 EUV 펠리클 개발과 관련해 가시적인 성과가 나오고 있는 걸로 보인다"고 말했다. 에프에스티는 방교 신공장의 완공을 올해 10월 말 정도로 설정하고 있다. 다만, 투자 진척이나 장비 입고에 따라 시일이 더 걸릴 수 있다는 입장이다.

업계에서는 채용 공고를 비롯해 에프에스티의 최근 움직임을 예의주시하고 있다. 오너 일가의 지분 매입도 유의미한 이벤트로 해석하고 있다. 장경빈 대표가 최근 장내매수로 에프에스티의 보통주 1만3398주 가량을 매입한 것을 두고, 시장에서는 "에프에스티가 본격적으로 EUV 펠리클 양산 경쟁에 속도를 올리고 있다"고 평가했다. 장 대표는 에프에스티 기업집단을 거느리고 있는 장명식 에프에스티 이사회 의장의 장남이다. 2022년 3월 신임 대표이사로 선임됐다. 장 대표는 회사의 미래에 약 3억원 가량을 투자했다.

현재 EUV 펠리클 국산화 양산 개발은 에프에스티를 비롯해 에스앤에스텍이 주도하고 있다. EUV 펠리클은 극자외선 노광 공정에 활용되는 소모품의 일종으로, 장당 수억원을 호가하는 포토마스크를 보호하는 용도다. 물론 EUV 펠리클 자체의 가격도 비싸다. 노광 공정 상에서 포토마스크의 수명이 반도체 원가나 수율에도 직접적 영향을 미치기 때문에 강한 노광 출력을 견딜 수 있는 내구성과 적정 수준의 투과율을 확보해야 한다.

양사는 1세대 EUV 펠리클 개발 국면에서 90% 수준의 투과율을 충족했다. 남은 과제는 더 미세한 선폭으로 노광을 할 수 있는 'High NA EUV' 상의 투과율을 충족하는 것이다. 노광장비 시장을 독점하고 있는 ASML, 일본 미쓰이그룹(MITSUI GROUP) 등의 주요 제조사가 EUV 펠리클 양산 기술을 보유하고 있는 가운데 양사가 잠재 고객사인 삼성전자와 함께 기술개발에 속도를 올리는 모양새다.

이 와중에 경쟁사인 에스앤에스텍이 올 하반기 2세대 양산에 본격 나선다는 소식이 알려지면서 에프에스티의 행보도 빨라졌다는 전언이다. 시장 일부에서는 에스앤에스텍이 올 7월, 에프에스티가 내년 8월 설비를 확충하고 양산 페이즈 진입에 도전한다고 전한다. 이야기만 놓고 보면 에프에스티가 1년 뒤처져 있다는 얘기다.

하지만 에프에스티 측은 3월 말 주총에서 이와 관련 "일각에서 회자되고 있는 양산개발 스케쥴은 전혀 사실이 아니다"고 선을 그었다. 장 대표의 주식 매입, 채용 확대 등은 투자자들의 우려를 불식시키기 위한 조치라는 분석도 뒤따른다.

에프에스티는 흔들림 없이 양산 개발에 R&D 역량을 결집시킨다는 방침이다. 경쟁사가 펠리클보다 블랭크 마스크 등에 특화된 기업인 데 반해 자사야 말로 ArF, KrF 펠리클을 양산 공급하면서 특화 기술을 다져왔기 때문에 품질 측면에서 우위에 설 수 있다는 자신감도 피력했다. 잠재 고객사인 삼성전자는 양사의 지분을 모두 보유하고 있다. 에프에스티의 지분율은 7%, 에스앤에스텍은 8%다.

에프에스티 관계자는 "고객사 NDA로 인해 구체적인 개발 진척도는 밝힐 수 없다"면서 "올 하반기 EUV 2세대 펠리클에 대한 시험 양산에 진입하는 것이 목표"라고 밝혔다.