이 기사는 2025년 02월 18일 08시30분 thebell에 표출된 기사입니다

국내 SiC(실리콘카바이드) 포커스링 강자 케이엔제이는 최근 증설 투자에 한창이다. 지난해 9월 장비사업을 정리하고 부품사업 중심으로 사업구조를 재편한 뒤 캐파 확대에 집중하고 있다. 더벨이 케이엔제이의 SiC 포커스링 주력 생산기지인 아산 사업장을 방문해 제품 생산 과정을 직접 살펴보고 왔다.

증설 투자는 모두 아산 부지에서 이뤄지고 있었다. 충남 아산시 음봉면에 위치한 공장은 약 1만7461㎡(5300평) 크기를 자랑한다. 케이엔제이는 2023년 200억원 규모의 투자계획을 밝힌 이후 지난해 12월 같은 규모의 투자를 추가예고했다. 증설 작업은 이르면 내년 상반기 완료될 것으로 예상된다.

이날 방문한 아산 공장에서는 CVD-SiC 포커스링을 주로 생산하고 있었다. SiC 포커스링은 반도체 제조공정 중 에칭(식각) 공정에 사용되는 소모품이다. 식각장비 내에서 플라즈마를 웨이퍼 안으로 모아 플라즈마밀도를 균일하고 정확하게 유지시키는 역할을 한다. SiC는 Si(실리콘) 성분과 C(탄소) 성분이 1대 1로 결합된 화합물이다.

현장 투어를 맡은 케이엔제이 관계자는 "국내에서 두 번째로 반도체 공정용 CVD-SiC 포커스링 양산에 성공해 2016년부터 공급을 시작했다"며 "해당 제품을 95% 이상 주력 생산하고 있다"고 설명했다.

이어 "고객이 요청하는 제품 두께에 따라 생산량에 조금씩 차이가 있으나 통상 제품 한 개를 만드는 데 15~25일가량 소요된다"며 "현재 캐파의 100% 가까이 가동 중으로 증가하는 수요에 맞춰 당분간은 계속 증설을 진행할 계획"이라고 말했다.

케이엔제이의 CVD-SiC 포커스링은 자동화 설비를 통해 생산되고 있었다. 4개의 팔이 달려 있는 설비에서 SiC 링을 하나씩 뽑아 가공 설비인 MCT에 넣으면 자동으로 작업이 이뤄진다. 인건비 절감을 위해 무인화 공정을 지속 개발할 예정이다.

해당 설비 근처에서 분석 장비도 확인할 수 있었다. 해당 장비는 완제품을 분석하거나 생산된 제품이 어떤 물성을 띄는지, 특이사항이 없는지 등을 확인하는 역할을 한다. 마지막 생산 단계에서는 검사원들이 모든 제품을 직접 전수 검사하고 있었다. 3차원 측정기를 통해 치수를 검사한 이후 고객사에게 납품한다.

케이엔제이 관계자는 "생산 제품을 자체적으로 분석할 수 있는 장비와 설비 모두 마련돼 있다"며 "고객사로부터 분석 요청이 오면 시료를 통해 분석을 진행하고 있다"고 설명했다.

케이엔제이는 2005년 설립돼 경기도 화성시에 둥지를 틀었다. 초기에 디스플레이 패널용 장비 제조사업을 중심으로 성장을 이어가던 중 2010년 반도체 공정용 소재와 부품 사업에 진입했다. CMS와의 M&A를 통해 원천 기술을 확보한 후 기술 개발 설비 투자에 본격적으로 나섰다.

2010년대 후반 중국 기업들이 디스플레이 사업에 뛰어들며 케이앤제이 내 장비사업부의 적자가 이어지자 지난해 9월 장비사업 운영을 중단하고 부품사업부를 중심으로 사업구조를 재편해 사업을 운영 중이다.

처음 SiC 사업에 뛰어들었던 2010년에는 지금과 같은 포커스링이 아니라 그라파이트에 SiC 코팅을 하는 LED용 소모품을 제작해 납품했다. 본격적으로 SiC 링을 생산한 건 2016년부터다. 2019년 상장 후 수요 증가로 증설의 필요성을 느끼고 2021년 아산 사업장을 신축하고 본사도 현재의 아산시 음봉면으로 이전했다. 같은 해 세계 최대 메모리 반도체 제조사에 양산 제품을 공급하는 데 성공했다.

현재 연 700억원 이상의 매출을 낼 수 있는 CVD 챔버 캐파를 확보하고 있다. 매년 2~4대 증설을 목표로 잡고 있다. 아산 사업장에 20대 이상의 CVD 챔버를 설치할 수 있는 부지를 마련해뒀다. 지난해 증설된 일부 가공라인을 통해 이미 매출이 발생하고 있다. 내년 상반기까지 설비가 순차적으로 도입되면 매출도 증가할 것으로 전망된다.

케이엔제이 관계자는 "챔버와 가공 장비 등 주요 설비를 자체 설계·제작할 수 있는 기술을 확보하고 있어 설비 증설 시 빠르게 생산 안정화가 가능하다"며 "지속적으로 생산 기술을 개발하고 수율을 개선해 원가 경쟁력을 높일 계획"이라고 밝혔다.