'필터 국산화' 시노펙스 산업부장관 표창 2010년 반도체 슬러리 여과 필터 개발 공로
조영갑 기자공개 2020-10-30 13:27:33
이 기사는 2020년 10월 30일 13시20분 thebell에 표출된 기사입니다
시노펙스는 29일 코엑스에서 열린 한국반도체산업협회 주최 '제13회 반도체의 날' 기념행사에서 산업통상자원부 장관 표창을 수상했다.
시노펙스는 그동안 수입에 의존한 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정의 필터 국산화에 성공한 후, 다양한 필터 제품을 공급하면서 국내 반도체 산업의 발전에 기여했다.
2010년 반도체 산업용 POU(Point-of-Use)필터를 개발한 시노펙스는 국내 고객사를 비롯해 대만 등에 필터를 공급하고 있다. 이어 2014년부터 주요 고객사 반도체 사업부 필터 1차 협력사로 등록, 세계 굴지의 필터 공급사들과 어깨를 나란히 하며 입지를 다졌다는 평가다.
POU필터는 반도체 제조공정 중 웨이퍼 연마에 필요한 슬러리(Slurry)용액을 최종 여과하는데 사용된다. 특히 필터링된 균질한 사이즈의 미세입자로 웨이퍼 표면을 가공하기 때문에 필터의 성능이 반도체 품질과 직결된다.
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