이 기사는 2022년 09월 02일 10:58 thebell 에 표출된 기사입니다.

반도체 설비·소재 전문업체 '에프에스티'는 반도체 시장의 확장에 따라 자연스럽게 사세를 키웠다. 사업영역도 다각화를 진행했다. 주력 제품인 '펠리클(Pellicle)'과 '칠러(Chiller)'를 기반으로 반도체 분야에 장비·부품 사업의 확장을 진행하고 있다. 이 과정에서 신규 법인을 설립하거나 투자를 통해 계열사를 크게 늘렸다.

에프에스티는 올해 상반기말 기준으로 7개의 종속기업과 3개의 관계기업, 1개의 공동기업을 보유하고 있다. 2000년 코스닥 시장 상장 이후 한동안은 별다른 움직임 없이 기존 사업에만 집중했지만, 2009년 설립한 반도체 계측장비 기업 '오로스테크놀로지'에 투자하며 본격적으로 M&A 등을 통한 확장에 나섰다.

에프에스티는 투자금 지원 등은 이행했지만, 긴밀한 협업을 진행하기보다는 각자 R&D를 진행하고 사업을 영위하는 '각자도생' 방식을 선호하고 있다. 이는 각 계열사가 보유한 기술적 차이점에 따른 것이라는 게 에프에스티 측 설명이다.

종속기업 가운데 눈길을 끄는 곳은 에프에스티가 지분 54.25%를 보유한 '이솔'이다. 2017년 설립한 이솔은 극자외선(EUV) 마스크 결함 리뷰 장비, EUV 마스크 위상 측정 장비, EUV 펠리클의 투과율·반사율 측정장비 사업을 영위하고 있다. 사명부터 'EUV 솔루션'의 줄임말일 정도로 전문업체를 천명하고 있다.

지난해 EUV 포토레지스트(PR) 평가 장비 '에밀레' 테스트도 성공하는 등 차세대 기술 기업으로 주목을 받고 있다. 그동안 에프에스티로부터 투자나 지급보증 등을 통한 간접적 R&D 지원을 받았다. 그러다 최근 반도체업계의 호평을 받으면서 외부자금 유치까지 성사시켰다. 지난 7월 신기술의 도입, 재무구조의 개선을 목적으로 50억원 규모의 3자배정 유상증자도 추진했다.


미래 성장동력으로 반도체 부품과 장비 사업 확장을 위한 투자도 진행했다. 2019년 설립한 '에프엑스티'는 반도체 핵심공정에 들어가는 정밀부품을 제조한다. 이듬해인 2020년 설립한 '화인세라텍(Fine Ceramic Tech)'은 반도체 장비에 들어가는 정밀 세라믹 소재의 부품 등을 제조하는 기업이다.

에프에스티가 긴밀한 협업을 진행하는 계열사도 있다. 2016년 인수해 지분 100%를 들고 있는 에스피텍은 반도체 펠리클용 프레임(Frame)을 다루고 있어 모회사가 영위하는 펠리클 제조사업과 밀접한 연관성을 갖추고 있다. 2010년 설립된 이후 고품질 펠리클 프레임을 개발하며 기술 경쟁력을 강화하고 있다. 이 밖에 미국과 중국 등 해외에서 AS 서비스를 제공하기 위해 현지법인들도 종속기업으로 두고 있다.

에프에스티가 지분 33.54%를 보유하고 있는 오로스테크놀로지는 관계기업으로 분류됐다. 반도체 전공정 가운데 노광 공정에 포함된 계측·검사장비 개발에 성공하며 에프에스티와 함께 국산화를 선도하고 있다. 지난해 코스닥 시장에 상장하면서 에프에스티도 자산 증식 효과를 봤다. 주력 제품 '오버레이(OVRLAY) 계측장비'는 반도체 공정에서 적층 패턴이 제대로 정렬됐는지를 측정한다. 또 다른 관계기업으로 '피에스플라즈마'와 '시옷플랫폼'이 있다.

에프에스티 관계자는 "기본적으로 투자를 통해 종속회사 자금지원 등을 통해 사업 다각화 등 새로운 먹거리 준비를 지속적으로 하고 있다"면서 "계열사는 모두 반도체 관련 사업을 영위하고 있지만 구체적으로 들어가면 서로 다루는 기술이 달라 R&D는 각자 독자적으로 진행하고 있다"고 설명했다.

이어 "이솔은 기술력을 인정받아 외부 투자까지 유치하면서 안정적으로 성장하기 위한 재원을 마련했다"며 "에스피텍은 펠리클 프레임을 다루고 있어 협업을 진행하고 있다"고 덧붙였다.