이 기사는 2023년 01월 18일 15:36 thebell 에 표출된 기사입니다.

파크시스템스의 신규 AFM(원자현미경) 3종이 매출 '효자'로 등극했다. 지난해 역대 최대 실적 달성이 유력한 가운데 신제품 매출이 20% 이상 기여했단 분석이다. 최근 신규 AFM 1종이 추가되면서 올해 이 비중은 더욱 확대될 것으로 예상된다.

18일 관련 업계에 따르면 파크시스템스는 지난해 글로벌 반도체 제조사로부터 '파크 NX-마스크' 8대를 수주했다. 파크 NX-마스크는 극자외선(EUV) 공정 후에 마스크에 발생한 이물질을 제거해 재사용할 수 있도록 돕는 마스크 리페어 장비다. 지난해 9월 정식 론칭 전 선주문을 접수했으며 8대 중 총 5대 납품을 완료했다.

2021년 출시한 디스플레이 검사 장비 '파크 NX-TSH'도 총 3대 수주를 받아 납품을 완료했다. 이는 파크시스템의 첫 디스플레이 검사 장비로 OLED(유기발광다이오드) 파인메탈마스크(FMM) 공정 수율을 높이는 데 일조하면서 기대 이상의 수주가 이뤄진 것으로 보인다. 같은해 출시한 '파크 NX-하이브리드 WLI(백색광 간섭계)'도 2대 납품을 마무리했다.

이에 따라 신규 장비 3종의 매출액 기여도는 전체의 20%를 돌파했다. 파크시스템스가 지난해 최대 실적을 기록한 데 혁혁한 공을 세운 것이다. 아직 연간 실적이 공개된 상태는 아니다. 하지만 파크시스템스는 지난해 3분기 누적 매출액(701억원)은 역대 최대인 전년 동기간과 비교해 43% 늘었다. 4분기 매출 볼륨이 가장 큰 업체 특성상 증권업계에선 지난해 연간 매출액을 전년대비 35% 증가한 1150억원으로 추정하고 있다.

이들 장비가 출시와 동시에 바로 성과를 낸 이유는 대당 단가 및 업계 수용도가 높기 때문이다. 파크 NX-마스크만 해도 1대당 매가가 30억원에 육박하는 것으로 알려졌다. 이는 파크시스템스의 일반 산업용 AFM 평균 가격보다 76%가량 단가가 높다. 전방 산업의 수요가 늘면서 SEM(전자현미경)의 10분의 1에 불과했던 AFM 시장 규모가 점차 확대되고 있는 것도 한 이유다.

파크시스템스는 올해 신제품 매출액 비중이 더욱 확대될 것으로 예상하고 있다. 디스플레이 검사 장비인 NX-TSH의 경우 반도체 후공정에서도 니즈를 보이고 있어 후공정 업체에서 수주가 발생할 것으로 보인다. 파크 NX-TSH에는 300mm 이상의 대면적 디스플레이 패널 계측이 가능한 탐침이 내재돼 있는데 패키지 테스트 단계에서도 기술 수요가 있는 것으로 파악된다.

신규 장비를 선보이기도 했다. 올초 파크시스템스는 측정과 계측 기능을 하나로 결합한 하이브리드 제품 '파크 NX-IR'을 출시했다. 이는 적외선 분광법을 활용해 시료의 표면 이미지뿐만 아니라 물질의 성질을 측정할 수 있는 장비다. 파크시스템스는 과거 웨이퍼 제조사에 해당 장비를 납품한 바 있으며 대형 고객사와 수주 논의를 이어가고 있는 것으로 보인다.

파크시스템스 관계자는 "파크 NX-하이브리드 WLI, 파크 NX-IR과 같은 하이브리드 장비 개발 프로젝트에 주력하고 있다"며 "하이브리드 장비는 올해도 상당한 규모의 수주가 예상된다"고 말했다.