이 기사는 2024년 12월 18일 15시30분 thebell에 표출된 기사입니다

시노펙스가 전량 수입에 의존하던 첨단 반도체용 케미컬 필터 국산화에 성공했다고 18일 밝혔다. 고객사 성능 평가를 진행 중이며 2025년 1분기 내 10·15나노 제품 양산 후 공급을 개시한다는 계획이다.

첨단 반도체 생산에 사용되는 케미컬 필터는 팽창 폴리테트라플루오로에틸렌(ePTFE) 소재로 제작된다. 반도체 생산공정에서 사용되는 불산, 황산 같은 강산과 200도 이상의 고온에서 견디면서 불순물을 제거하는 역할을 한다. 케미컬 필터에 사용되는 ePTFE 소재는 미국 기업이 전 세계 시장을 과점하고 있다. 국내에는 20나노 이하 첨단 필터용 소재를 판매하지 않고 있어 20나노 이하 첨단 필터에 대해서는 전량 수입에 의존하는 중이다.


시노펙스는 2020년 사업비 164억원의 국책과제를 수행하며 올해 1월 15나노 케미컬 필터를 개발하는 데 성공했다. 이어서 10나노 케미컬 필터 개발에도 성공해 고객사의 성능 평가를 진행 중이라는 설명이다.

시노펙스는 지난 17일 준공한 경기도 용인시 동탄 소재 첨단 반도체 필터 생산 센터(이하 센터)에서 2025년 1분기부터 15·10나노 케미컬 필터를 양산하겠다고 발표했다.

센터 준공식에 참석한 이승렬 산업통상자원부 정책실장은 "시노펙스에서 개발한 반도체 공정용 필터는 반도체 수율을 좌우하는 핵심적인 공정 부품이지만 100% 수입에 의존하고 있어 공급망 위기에 취약한 품목이었다"면서 "시노펙스가 원단, 필터 모듈에 이르는 모든 핵심 기술을 확보했다. 이날 생산라인 준공을 통해 핵심 부품 국산화의 본격적인 첫발을 내딛었다"고 말했다.

손경익 시노펙스 대표는 “반도체 세정 공정에서 나노급 입자를 완벽하게 제거하는 케미컬 필터는 첨단 반도체 산업의 핵심 후방산업으로 그동안 전량 수입에 의존해 왔다"며 "이번 생산 센터 준공은 세계 최고 수준의 나노급 케미컬 필터를 국내에서 생산하고 공급할 수 있는 기반을 마련한 것이다. 앞으로 반도체 산업의 안정적인 공급망 구축과 경쟁력 강화에 기여해 나가겠다"고 전했다.

한편 시노펙스가 이번에 준공한 센터는 자체 디자인한 설비를 적용하고 필터 원단·모듈 등을 모두 자체개발한 것이 특징이다. 향후 1나노급 첨단 제품 생산까지 대응할 수 있도록 설계했다.