이 기사는 2024년 11월 01일 07시41분 thebell에 표출된 기사입니다

반도체 전공정 장비사 에이치피에스피(HPSP)가 예스티(YEST)와 벌인 특허소송에서 사실상 완승 판정을 받았다. 특허무효심판은 물론 권리범위확인심판에서 유리한 심리 결과를 받았다.

이번 특허심판원의 결정으로 HPSP는 서울중앙지방법원에서 진행 중인 특허침해소송에서도 우위를 점할 수 있게 됐다. 향후 고압수소어닐링 분야에서 보유한 독점력을 유지하는데 청신호가 켜지게 됐다.

◇HPSP, 특허무효·권리범위확인심판 '완승'…예스티, 재청구·항소 계획 밝혀

1일 반도체업계에 따르면 특허심판원은 예스티가 HPSP를 상대로 청구한 특허무효심판에 대한 심리결과를 지난달 31일 통보했다. 특허심판원은 HPSP 승소 결론을 내렸다.

아울러 예스티가 청구한 3건의 특허 권리범위확인 심판에 대해서는 3건 모두 각하 판정을 했다. 심결문에 따르면 예스티는 사측이 실시하고자 하는 기술에 대해 구체적으로 특정하지 못했다. 이 때문에 특허심판원이 특허침해 여부에 대한 심리가 불가했다.

이번 특허심판원의 판결로 HPSP와 예스티의 분쟁이 약 1년 만에 중요한 변곡점을 맞이하게 됐다.

앞서 HPSP는 작년 8월 25일 예스티를 상대로 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다. 당시 HPSP는 보유한 핵심 기술 중 하나인 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치' 특허를 예스티가 침해했다고 밝혔다. HPSP가 글로벌 시장에서 독점적 지위를 지닌 고압수소어닐링(HPA·High Pressure Annealing) 장비에 쓰이는 기술이다.

이에 예스티는 지난해 10월 31일 특허심판원에 HPSP를 상대로 무효심판을 제기했다. 아울러 올 1월 15일에는 3건의 권리범위확인심판도 제기하면서 반도체업계에서 주목하는 이슈 중 하나가 됐다.

하지만 이번에 HPSP가 사실상 완승에 가까운 판정을 얻으면서 보유 특허의 원천성과 진보성, 유효성을 모두 인정받게 됐다. 또 서울중앙지법에서 진행 중인 특허침해소송에서 승기를 잡을 수 있게 됐다.

HPSP는 "이번 특허심판원의 심결을 존중하며 당사의 특허가 신뢰할 수 있는 독자적인 기술력을 기반으로 성립된 것을 공식적으로 인정받은 것을 환영한다"며 "앞으로도 끊임없는 혁신을 통해 글로벌 반도체 시장에서 리더십을 강화하며 고객들의 다양한 요구에 부응하는 최첨단 솔루션을 제공해 나가겠다"고 말했다.


예스티는 특허심판원에 다시 판결을 구하겠다는 입장을 밝혔다. 예스티는 "이번 각하의 사유가 청구내용이 구체적이지 못하다는 것이므로 최대한 빠른 시간 내에 기술 노출을 어느 정도 감수하더라도 청구내용을 구체화해 소극적권리범위확인심판을 재청구하겠다"며 "이미 심판 과정에서 구체적인 구성자료를 준비하여 제출하였기에 11월 초에 바로 재청구가 가능하다"라고 밝혔다.

이어 "특허무효심판에 대해서도 특허법원에 항소할 것"이라며 "이번 소극적권리범위심판 각하 및 재청구로 인해 예스티의 구조가 HPSP의 특허를 침해하지 않는다는 특허심판원의 판결을 받는데 당초 계획보다 5~6개월의 시일이 더 소요될 것"이라고 설명했다.

◇HPSP, '고압수소어닐링' 독점적 경쟁력 유지 가능성 커져

HPSP는 이번 특허심판원의 심결로 고유의 기술력을 인정받는 동시에 고압수소어닐링 장비 분야에서 독점적 지위를 유지할 가능성이 한층 커지게 됐다. 고압수소어닐링 장비는 반도체 공정 미세화에서 필수적으로 사용된다는 평가를 받고 있다.

업계에 따르면 HPSP는 파운드리(위탁생산)업체를 비롯해 굴지의 글로벌 반도체 제조사를 고객사로 두고 있다. 최근에는 비메모리에 이어 메모리 분에서도 고압수소어닐링 장비가 활용되고 있다.

HPSP가 기존 기술력을 기반으로 추진하는 새로운 장비 사업도 탄력을 받을 것으로 전망된다. HPSP는 신규 고압장비 개발을 위해 벨기에 연구기관 아이맥(IMEC)과 협력하고 있다. 특히 고압산화공정(HPO) 장비 개발 성과가 가시화하는 상태로 알려졌다.