이 기사는 2021년 10월 25일 16:19 thebell 에 표출된 기사입니다.

원자현미경(AFM·Atomic Force Microscope) 원천기술을 기반으로 반도체 웨이퍼 계측검사장비를 생산하는 '파크시스템스'가 중화권 선전 덕에 3분기 호실적을 기록했다. 특히 비메모리 EUV(극자외선) 공정에서 AFM 장비 공급을 확대하면서 국내 주요 고객사(삼성전자) 향 대량 공급 가능성도 커졌다는 평가다.

25일 금융감독원 전자공시에 따르면 파크시스템스는 올해 3분기 매출액 213억원, 영업이익 47억원을 기록했다. 전년동기대비 매출액(164억원) 30.25%, 영업이익(40억원) 16.91% 증가한 수치다.

파크시스템스는 올해 2분기 고객사의 AFM 설비 구축과 관련 장비 인도 지연 탓에 실적 악화를 겪었다. 매출액 124억원, 영업손실 10억원을 기록한 것이다. 하지만 지연분이 올해 3분기 실적에 대거 산입되면서 전분기 대비 흑자전환에 성공했다.

파크시스템스의 선전은 대만·중국 등 중화권 반도체 메이커 향 장비 공급이 늘어난 덕택이다. 특히 파운드리 시장에서 글로벌 톱티어로 꼽히는 대만 고객사 향 AFM 장비 공급이 증가하면서 매출 규모가 증가했다. 파크시스템스는 대만 지역의 영업을 위해 2017년 2월 연락사무소를 설치한 이후 지속적으로 고객사 향 공급을 타진해왔다.

업계에 따르면 대만 고객사는 극미세 공정 파운드리 팹(fab) 다수의 라인에 파크시스템스 AFM 계측장비를 도입한 데 이어 CIS(CMOS 이미지센서) 관련 공정에도 AFM 장비를 배치한 거로 파악된다. 정확한 도입 대수와 관련 매출액은 고객사 NDA(비밀유지협약)에 따라 알려지지 않았다. 모바일, 차량용 센서 수요가 지속적으로 늘고 있기 때문에 향후 추가 도입도 점쳐지고 있다.

중화권 고객사 향 물량이 올해 수주총액 대비 40% 수준(125억원)으로 늘어난 것을 감안하면 AFM 장비 7~8기가 실전 배치됐을 가능성이 크다. 주력 제품인 'NX-Wafer'의 경우 환율이나 고객사 협의에 따라 공급가의 차이가 있지만, 보통 대당 15억~17억원의 ASP(평균판매단가)를 형성하고 있다.

파크시스템스의 AFM 장비는 '캔틸레버(cantilever)'라고 불리는 탐침이 미세한 진폭을 일으켜 검사 대상을 원자단위로 계측하는 장비다. 공기·진공·용액 안에서 측정할 수 있으며, 높이·각도·거칠기 등 3D 이미징을 구현할 수 있다. 반도체 웨이퍼 결함(defect)을 극미세 나노 단위에서 검사하기 때문에 고사양 비메모리 공정의 수율을 끌어올릴 수 있는 차세대 검사장비로 평가된다.

업계 관계자는 "올해 중화권 고객사들이 비메모리 반도체 전공정 뿐만 아니라 후공정 테스트 패키징에서도 AFM 계측장비 도입을 확대하면서 파크시스템스의 장비가 반도체 파운드리 내에서 존재감을 확대하고 있다"고 말했다.
대만 고객사의 장비 도입이 확대되면서 국내 고객사의 움직임도 업계의 관심거리다. 파크시스템스는 국내 양대 IDM(삼성전자, SK하이닉스)을 모두 고객사로 두고 있다. 특히 삼성전자의 경우 파운드리 영역에서 대만 TSMC와 'EUV 공정' 경쟁을 벌이고 있기 때문에 경쟁사 동향에 예민하다는 게 업계의 전언이다. 삼성전자와 TSMC는 3나노(nm)에 이어 2나노 공정을 수년 내 양산화하겠다고 공언한 상태다.

이와 관련, 삼성전자 내부에서도 비메모리 수율을 향상시킬 검사장비를 다양하게 테스트하고 있는 거로 알려졌다. 파크시스템스 제품도 여러 기 입고됐다. 다만 아직 AFM 장비가 대량 양산단계에 진입하지 못했기 때문에 향후 변수가 존재할 수 있다는 평가다. 검사계측의 정밀도·정확도는 매우 우수하지만 검사 속도의 문제가 남아 있기 때문이다.

그런데도 전망이 밝은 이유는 파크시스템스가 AFM 내 품질경쟁에서 가장 앞서 있기 때문이다. 업계에 따르면 파크시스템스의 최대 경쟁사였던 독일 '브루커(BRUKER)'가 최근 삼성전자 퀄(품질인증)을 받는 데 실패하고, 벨기에 연구기관 '아이맥(IMEC)' 출신 연구진이 개발한 AFM 장비 역시 테스트 과정에서 인증에 실패하면서 파크시스템스가 삼성전자 내 독보적인 AFM 공급사 지위를 다지고 있다.

파크시스템스 관계자는 "올해 중화권 고객사들의 장비 도입이 예년에 비해 크게 늘면서 전체 매출액 대비 비중이 커졌다"면서 "국내 고객사 역시 복수의 AFM 장비를 필드에서 운용하고 있고, 양산을 전제로 한 테스트를 진행하고 있기 때문에 멀지 않은 시점에 대량공급이 이뤄질 것"이라고 말했다.