이 기사는 2023년 02월 08일 16:28 thebell 에 표출된 기사입니다.

"새 케미칼 믹싱(Mixing) 장치 설계 및 자체 데모 평가를 끝냈다. 고객사 실전 평가도 상반기 완료가 예상된다. 이 장비는 크기를 컴팩트하게 만들어 지금 있는 것의 절반으로 줄인 게 특징이다. 믹싱은 농도가 중요한데 농도를 맞출 수 있는 기술도 새롭게 만들어 냈다. 반도체 업계 독점으로 믹싱 장비를 공급하는 업체가 되겠다."

백인학 한양이엔지 시스템BU(Business Unit) 기술연구소 상무(사진)는 최근 열린 '2023 세미콘 코리아' 전시장에서 더벨과 만나 이같은 포부를 밝혔다. 백 상무는 한양이엔지에서 케미칼 중앙공급장치인 'CCSS(Central Chemical Supply System)' 개발을 담당하고 있다.

올해 시스템사업부엔 크게 두 가지 장비 이슈가 있다. 신규 케미칼 믹싱 장비, 그리고 5세대에서 6세대로 업그레이드된 CCSS의 고객사 평가를 완료하는 것이다. 특히 백 상무는 신규 케미칼 믹싱 장비가 품질 평가를 통과해 정식 양산을 진행할 경우 주요 고객사에 독점 공급할 수 있는 수준의 지위를 확보할 수 있다고 전했다.

그만큼 품질에 자신이 있단 뜻이다. 장비의 명칭은 '스탠다드 클리닝 믹싱 시스템(SC1-Mixing System)'이다. 이는 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정 후 슬러리 등 세정에 필요한 화학물질을 고객사에서 요청한 수준으로 정밀하게 제어해 혼합하는 장비다. CMP 공정에 쓰이는 슬러리 등 소재가 고도화됨에 따라 클리닝 믹싱 장비의 수요도 확대된 것으로 파악된다.


6세대 CCSS 공급 역시 한양이엔지의 주요 관심사다. 2021년 기준 한양이엔지가 공개한 CCSS 매출액은 1739억원(시스템사업부 별도 매출액과 동일)으로 전체 별도 매출액의 24%에 달한다. 내부에서는 올해 말 평가 완료 및 내년 초 양산을 예상하고 있다. 최근 반도체 업계 사정이 어렵지만, 국내 반도체 팹(Fab)의 생산성 형상에 대한 수요는 꾸준하다 보니 어렵지 않게 평가 일정이 조율됐단 후문이다.

그는 6세대 CCSS의 강점을 안전성과 경제성이라고 소개했다. CCSS는 화학물질의 공급·이송·혼합·폐기 전 과정이 통합된 자동화 설비다. 업그레이드된 버전의 CCSS는 공급·이송·혼합 각각을 담당하는 장비를 일체형이 아닌 조립식으로 변경했다. 각각의 장비를 별도로 제작할 수 있어 총 제작 기간이 단축됐고 수리 역시 별도로 진행할 수 있게 해 이용 편의와 안전성을 향상했다.

백인학 상무는 "케미칼은 사람 몸에 닿으면 안 돼 전기가 끊어지지 않게 압(壓)이 동일하게 가야 한다"며 "고객의 메인 장비가 움직일 때 범위 내에서 벗어나지 않도록 하면서 흔들림 없이 안전하게 케미칼을 공급하는 게 특징"이라고 말했다. 이어 그는 "설비 각 부분을 유닛별로 따로 제작해 부착할 수 있도록 해서 제작 기간을 단축시킨 것도 장점이다"라고 강조했다.

한양이엔지 시스템사업부는 올해 작년 수준의 실적 달성을 목표로 잡고 있다. 시스템사업부는 지난해 3분기까지 별도기준 1365억원의 매출액을 올렸다. 이는 한양이엔지 전체 별도 매출액의 19% 수준이다. 백 상무는 "성장률은 잡았는데 바깥 시장이 녹록지 않아 걱정이다"라며 "(평가를 진행하는 신규 장비 사업 등) 현재 진행 중인 일은 상반기가 끝나면 어느 정도 윤곽이 나올 것"이라고 말했다.