이 기사는 2023년 04월 12일 09시25분 thebell에 표출된 기사입니다

이엔코퍼레이션은 자회사 한성크린텍이 반도체용 ‘고순도 공업용수(이하 초순수)' 공급에 적합한 수질검사등 성능검증을 완료해 기술 자립화에 성공했다고 12일 밝혔다.

한성크린텍은 지난 2021년 7월부터 참여한 초순수 생산공정 국산화 플랜트 기술개발 국책과제와 관련, 1단계 '1일 1200톤' 초순수 실증플랜트 구축 및 시운전을 마무리했다.

이와 관련, 지난 10일부터 실증플랜트에서 생산되는 초순수를 구미 SK실트론 반도체 웨이퍼 공정에 시범 공급하고 있다. 다음달부터 본격적으로 공급을 진행할 예정이다.

이엔코퍼레이션은 한성크린텍이 초순수 국산화 실증플랜트 수행 경험을 갖췄다고 설명했다. 이를 통해 일본업체와 경쟁해 구미 SK실트론으로부터 대용량 초순수 제조설비의 설계부터 기자재 조달 및 시공 전반에 걸쳐 총 836억 상당의 수주를 성공했다.

이엔코퍼레이션 관계자는 “한성크린텍의 국산 기술로 제조된 초순수를 SK실트론에 공급할 것"이라며 "그동안 일본 업체가 독점하던 초순수 시장에서 기술 자립화와 반도체 소부장 독립에 앞장서 나아갈 것”이라고 말했다.

이어 “정부는 수도권을 중심으로 약 300조원을 투자해 세계 최대 규모의 시스템 반도체 클러스터를 구축한다는 비전을 세웠다"며 "한성크린텍은 반도체 공정의 필수재인 초순수 핵심기술 뿐만아니라 수처리 공정 전반의 EPC 역량을 보유하고 있어 향후 반도체 영역 매출 확대의 큰 기회가 될 것”이라고 덧붙였다.