이 기사는 2025년 04월 28일 08시22분 thebell에 표출된 기사입니다

에이치피에스피(HPSP)를 상대로 예스티(YEST)가 소송을 벌인 소극적 권리범위확인심판에서 '인용' 판결이 내려졌다. 이에 대한 양측의 입장은 이번에도 엇갈렸다.

HPSP는 이번 심결에 대해 특허법원에 즉각 항소를 진행하겠다고 밝혔다. 이전부터 진행 중인 특허침해소송과는 별개의 사안이라며 향후 5년간 고압수소어닐링 장비에 대한 독점력을 유지할 것으로 전망하고 있다.

◇특허심판원, 소극적 권리범위확인심판 인용

28일 반도체업계에 따르면 특허심판은 예스티가 작년 11월 5일 제기한 2건의 소극적 권리범위확인심판에 대해 지난주 25일 자로 인용심결을 내렸다.

이에 대해 예스티 측은 "HPSP의 특허와는 달리 외부회전체결링이 아예 없고 외부도어 자체가 회전하는 방식이고 다른 하나는 외부회전체결링이 없을 뿐만 아니라 도어가 2개가 아닌 하나인 원도어 구조로 2가지 구조 모두 HPSP의 특허와 다르다는 것이 명백하다"고 밝혔다.

반면 HPSP는 권리범위확인심판제도는 실제 실시하는 제품이 아닌 실시 예상 아이디어에 대해서도 여러 차례 판단을 받아 볼 수 있다는 점이 특허침해소송과 다르다는 입장이다. 권리범위확인심판의 심결내용은 특허침해소송이 진행되는 법원을 구속하는 것이 아니므로 특허침해소송과는 전혀 별개의 사안이라는 것이다.

HPSP는 "상기 2건의 권리범위확인심판은 당사가 2024년 10월 31일 승소한 무효심판에서 인정된 당사의 특허발명과 확인대상이 다르므로 예스티가 청구한 확인대상발명이 당사 특허의 권리범위에 속하지 않는다고 주장할 수 없다"라며 "따라서 이번 인용심결이 현재 서울중앙지방법원에서 진행중인 특허침해소송에 미치는 영향은 없다"라고 밝혔다.

다만 이번 심결에 있어 당사의 주장 및 판단과 상이한 심결이 이루어졌다고는 판단되기 때문에 특허법원에 항소하겠다는 입장이다. 특허침해소송에서도 당사 특허를 상대방이 침해한다는 판결을 이끌어 내어 당사의 특허 기술 보호에 관한 불필요한 염려를 불식시킬 것이라는 설명이다.

◇HPSP, 향후 최소 5년 진입장벽 유지…심결취소소송 제기

HPSP는 지난주에 나온 심결이 당장 실적이나 수주 등에 영향을 미치지 않을 것으로 보고 있다. 현재 HPSP의 고압수소어닐링 장비는 글로벌 톱티어 반도체 제조사를 포함한 20개 이상의 고객사에 공급되고 있다. 글로벌에 소재한 30곳 이상의 실제 양산 공장(Fab)에서 안전성과 재현성이 검증됐다.

또 안전성이 극히 중요한 고압수소어닐링장비 특성상 HPSP의 장비와는 다른 기술로 만들 경우 반도체 고객사에서 훨씬 면밀한 테스트를 진행할 수밖에 없다. HPSP에서는 특허장벽, 거래처와 네트워크, 노하우 등의 차이로 경쟁사가 장비를 상용화하기까지 걸리는 절대적인 시간이 존재하기 때문에 진입장벽을 유지할 것으로 예상하고 있다.

반도체 장비사의 보편적인 장비도입 과정은 설계~장비 제작 및 기초 검증까지 최소 수년이 소요된다. 신규 장비의 경우 고객사에서 바로 구매가 불가능하고 2~3년 간 공동개발 기간을 거치고 나서 구매가 진행된다.

과거 실제사례를 바탕으로 보면 신규 업체가 진출하기 위해서는 '웨이퍼 데모→on site qualification→양산 테스트' 등의 절차를 거쳐야 한다. 각 단계별로 수년이 소요됨에 따라 상용화 단계까지 5년 이상의 시간이 소요된다.

HPSP는 이번 특허심판원의 이번 심결에 대해서 특허법원에 즉각 항소하는 심결취소소송을 제기할 예정이다.

HPSP 관계자는 "당사는 위 권리범위확인심판의 심결 결과에 관계없이 현재 계류중인 특허침해소송에서 지난 무효심판에서 유효하다고 인정받은 특허를 근거로 상대방의 특허침해를 입증하는데 만전을 기할 것"이라며 "투자자의 신뢰에 부응하고 글로벌 고압어닐링장비 분야에서의 독보적인 지위를 더욱 더 굳건하게 하도록 하겠다"라고 밝혔다.