이 기사는 2024년 07월 30일 13:27 thebell 에 표출된 기사입니다.

"지금까지 검사할 수 없었던 걸 하게 되는 겁니다."

박두진 나노엑스 대표(사진)는 지난 29일 경기도 수원시 나노엑스 본사에서 더벨과 만나 "패키지가 완료된 고대역폭메모리(HBM)의 솔더볼을 검사하는 소켓을 개발하고 있다"며 이같이 말했다.

솔더볼은 HBM 로직다이(컨트롤러)와 실리콘 인터포저(중간기판) 사이를 전기적으로 연결하는 부품이다. 나노엑스는 솔더볼을 접촉 방식으로 검사하는 소켓을 선보이기 위해 샘플을 제작 중이다. 내년 하반기 글로벌 메모리 제조사의 양산 라인에 도입되게 한다는 목표를 세웠다. 로직다이는 HBM을 컨트롤하는 두뇌 역할을 하는 핵심 부품으로 D램을 쌓아 만드는 HBM의 가장 밑단에 배치된다.

HBM 로직다이와 중간기판 사이 솔더볼은 크기가 매우 작아 지금까지는 검사가 불가능했으나 검사할 수만 있다면 HBM 수율(양산품 비율) 향상에 큰 도움이 된다는 게 박 대표의 설명이다.

박 대표는 "업계에서 보는 HBM 수율은 50% 미만"이라고 말했다. 나노엑스는 내년 하반기 글로벌 메모리 제조사의 HBM3와 HBM3E 양산 시 검사 소켓이 도입될 수 있도록 개발에 박차를 가하고 있다.

박 대표는 "HBM4에서는 (로직다이와 실리콘 인터포저 간) 피치(간격)가 매우 좁아진다"며 "처음 소켓 개발을 시작할 때 HBM4 이후에도 적용가능한지를 검토해 시작했다"고 말했다.

나노엑스는 마이크로 발광다이오드(LED) 검사장비 전문기업으로 시장에 알려져 있지만, 박 대표는 2017년 12월 창업 직후부터 HBM용 소켓 시장 진입을 꿈꿔왔다.

그는 "2016년께 우연히 일본 소니 엔지니어를 만났다가 마이크로LED는 검사가 어렵다는 말을 듣고 검사 설비 개발이 가능할지 검토에 착수했다"며 "그때 반도체 프로브카드(웨이퍼 단계에서 검침(probe)으로 테스트하는 장치)를 연구하게 됐고 장필국 나노엑스 부사장과 바로 개발에 들어갔다"고 말했다.

이후 나노엑스는 마이크로LED 검사용 프로브카드를 상용화하는 데 성공했다. 마이크로LED는 크기가 100마이크로미터(1㎛=100만분의 1m) 이하인 LED다. 나노엑스는 10마이크로미터 크기 마이크로LED 칩의 품질과 불량 유무를 접촉 방식으로 전수검사하는 장비를 개발했다. 글로벌 마이크로LED 제조사에 납품 중이다.

HBM 솔더볼도 크기가 30마이크로미터 전후로 매우 작다. 마이크로LED 분야에서 초정밀 검사 기술을 검증해 양산 라인에 도입한 이력이 있는 만큼 HBM 시장 진입도 노려볼 만하다는 게 박 대표의 생각이다.

그는 "6년 전에도 HBM 솔더볼 검사용 소켓을 개발했지만 기술 검증이 안 돼 메모리 제조사에서 채용할 수 없었다"며 "하지만 지금은 마이크로LED 검사용 프로브카드로 나노 단위의 초미세 정밀 측정이 가능하다는 게 검증된 만큼 상황이 달라졌다"고 설명했다.

박 대표는 국내 반도체 설비회사 실리콘테크를 거쳐 반도체·액정표시장치(LCD) 장비사 티에스티아이테크를 창업한 이력이 있다. 그는 "티에스티아이테크를 그만두고 힘든 시기에 많은 생각을 했다. 그동안 반도체 엔지니어로 살면서 장비 국산화를 위해 노력했다고 하지만 기존 기술을 가져와 발전시킨 것일 뿐 내가 처음부터 만든 건 하나도 없더라"며 "이번엔 세상에 없던 기술을 국산화하기 위해 나노엑스를 창업했다"고 말했다.

나노엑스는 2026년 상반기를 목표로 기술특례상장에도 도전한다. 2차전지 배터리를 방전하지 않고 블랙파우더(배터리 재활용 원료가 되는 가루)로 가공하는 기술도 갖고 있다. 작년 매출이 약 80억원이었는데 이 중 70%가 재활용 쪽에서 올린 매출이다.

박 대표는 "기초 기술이 있어 검증만 하면 금방 될 줄 알았는데 벌써 7년 차가 됐다"며 "여기까지 오는데 위기도 많았지만 (상장까지) 잘 가고 있는 것 같고, 해낼 것"이라고 덧붙였다.