이 기사는 2024년 02월 05일 14:47 thebell 에 표출된 기사입니다.

반도체, 디스플레이 플라즈마 세정장비 전문 기업 '뉴파워프라즈마'가 공정용 플라즈마 발생 장치 RPG(Remote Plasma Generator) 제품을 전면에 내세우고, 미국 MKS(MKS Instruments)가 독점하고 있는 반도체 공정용 RPG 시장에 도전장을 내민다. 이르면 올 1분기 내 고객사 정식 PO(구매주문)을 받아 양산 공정 라인에 진입하는 게 목표다. 성공하면 공정용 RPG 시장의 판도가 뒤바뀔 전망이다.

지난 1일 서울 강남구 코엑스에서 열린 '세미콘코리아 2024'에서 이기성 뉴파워프라즈마 위원(국내영업본부)은 "RPG 챔버용 클리닝 시장은 이미 시장 지배적 위치를 점하고 있었지만, 성장 동력이 둔화된 상황이기 때문에 올해부터는 공정용 RPG 시장에 새롭게 진출해 영업력을 집중할 예정"이라고 밝혔다. 이 위원은 삼성전자 DS부문에서 1988년부터 지난해 7월까지 근무하다 뉴파워프라즈마로 적을 옮긴 반도체 공정 전문가다. 뉴파워프라즈마의 국내영업을 담당하고 있다.


뉴파워프라즈마는 반도체, 디스플레이 RPS(플라즈마 세정기), RFS(플라즈마 전원장치)를 전문적으로 개발, 제조하면서 매출을 올려온 회사다. RPS는 반도체, 디스플레이 증착 챔버 내 퇴적된 반응 부산물을 플라즈마를 활용해 제거하는 장비다. RFS는 증착, 식각 공정에 적용되는 플라즈마 발생을 위한 고출력 전원을 공급하는 역할을 한다. 올 3분기 말 기준 RPS 부문에서 646억원, RFS 부문에서 64억원의 매출이 발생했다.

이날 세미콘코리아 전시회 내 부스를 마련하고, 최근 개발을 완료한 반도체 공정용 RPG 장비를 관람객에게 공개했다. 뉴파워프라즈마와 오랜 관계를 맺어 온 삼성전자를 비롯해 다수의 국내외 바이어들이 부스를 찾아 새 PRG 제품에 대한 높은 관심을 드러냈다. RPG는 제너레이터로 RPS 장비의 핵심 모듈인데, 사실상 같은 장비로 보면 된다.

뉴파워프라즈마는 국내 유일의 RPG(Remote Plasma Generator) 제조사로, 챔버용 RPG 분야에서 세계 점유율 2위를 기록하고 있는 기업이다. MKS, AE 등 해외 기업들이 장악하고 있던 시장에 뉴파워프라즈마가 국산화에 성공해 점유율을 잠식한 결과다. 하지만 증착 챔버가 아니라 시장 규모가 훨씬 큰 반도체 공정용 시장으로 눈을 돌리면 이야기가 다르다. 해당 시장은 여전히 MKS 등 외산이 시장을 장악하고 있다. 공정용 RPG는 옥사이드 막질(산화막) 증착 후 플라즈마 에칭에 활용되는 장비다. 단순 부산물을 제거하는 플라즈마 세정 장비 대비 부가가치가 높다.

뉴파워프라즈마가 다소 생소한 공정 시장에 진출한 계기는 전방 고객사들의 '캐파' 문제 때문이다. 특히 지난해부터 심화된 D램 감산의 여파로 기존 챔버 RPG의 판로에 위기가 잦아든 게 가장 큰 원인이다. 이 위원은 "챔버 클리닝 제품은 새로운 설비에 들어가야 하는데, 관련 시장이 현재 한계에 도달했다"면서 "증설 보다 기존 공정 설비의 업그레이드 시장을 노리고 있다"고 말했다.

뉴파워프라즈마는 해당 RPG 제품을 국내 주요 고객사와 공동개발하고, 1분기 내 PO를 받아 양산공급에 나선다는 방침이다. 고객사 비메모리 라인(P2 등)을 타깃으로 잡고 있다. 이후 타 고객사까지 집어넣겠다는 복안이다.

업계에 따르면 MKS 등이 장악한 국내 공정용 PRG 시장은 연 4000대 수준으로 파악된다. 노후화에 따른 장비 교체 연한에 따라 뉴파워프라즈마는 올해부터 '미들라인급' 외산을 자사의 제품으로 대체한다. 일단 대체에 성공하면 유지보수 매출까지 부가로 흡수할 수 있다.

뉴파워프라즈마는 경쟁사 대비 상대적 저가 정책으로 영향력을 확대한다는 방침이다. ASP(공급가)에 대해서는 구체적으로 밝히지 않았다. 10% 이하 수준으로 예상된다. 장비 스펙은 경쟁사 대비 우수하되, 가격이 낮으면 원가 경쟁에 뛰어든 국내 IDM이 도입하지 않을 이유가 없다.

이 위원은 "올해부터 미들엔드급 기존 외산 제품을 중심으로 상당량의 리페어가 진행될 것으로 보이는 만큼 고객사 영업력을 집중해 경쟁사 점유율을 빠르게 흡수할 것"이라고 말했다.