이 기사는 2024년 03월 14일 09:03 thebell 에 표출된 기사입니다.

원익투자파트너스와 IMM인베스트먼트, 컴퍼니케이가 영국 반도체 기업인 인피니티시마(Infinitesima)에 베팅한 가운데 투자 포인트로 원자현미경(AFM) 장비에 대한 높은 수요가 꼽힌다. 기술적 파급력이 우수한 데다 직접 개발·생산한 장비를 글로벌 반도체 기업들에 공급할 가능성이 있어 실적 성장세가 기대된다는 평가다.

13일 투자은행(IB) 업계에 따르면, 원익투자파트너스는 IMM인베스트먼트, 컴퍼니케이파트너스와 함께 1500만 파운드(한화 기준 약 250억원) 규모 펀딩에 참여했다. 미국 최대 반도체 장비 회사인 어플라이드머티리얼즈도 자회사인 기업형벤처캐피탈(CVC) 어플라이드벤처스를 통해 전략적투자자(SI)로 참여했다. 리딩 투자사는 원익투자파트너스로 총 100억원을 투자했다.

인피니티시마는 2001년 영국 브리스톨대 물리학과 연구소가 분사하며 출범한 개인 소유 회사다. 원자현미경을 개발·제조한다. 원자현미경은 반도체 공정 제어(Process Control) 장비 혹은 MI(계측 검사·Metrology Inspection) 장비 중 하나로, 시료의 형상과 물성을 서브나노미터 수준에서 측정하고 분석할 수 있다.

투자자들이 인피니티시마에 베팅한 핵심 배경에는 원자현미경 시장의 성장성이 있다. 기존의 MI 시장은 주로 광학현미경 방식이 적용됐다. 미국 나스닥 상장사 KLA(시총 약 130조)가 독보적인 1위로 MI 분야에서 점유율이 60% 이상이다.

광학현미경은 카메라로 찍은 뒤 이미지를 통해 계측·검사하는 방식이다. 검사 속도가 매우 빠르고 경제성이 좋아 반도체 MI 장비 중 가장 보편적으로 쓰이며, 2차 전지나 디스플레이 분야 산업 현장에서 사용된다. 다만 해상도가 낮은 탓에 나노 수준으로 공정이 미세화하고 있는 반도체 분야에서는 적용하기 어렵다.

이를 극복하기 위해 등장한 것이 전자현미경이다. 높은 에너지의 전자빔을 시료에 투과시키고 전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검출함으로써 확대상을 촬영하는 장비다. 2D 측면에서 나노단위로 계측이 가능한데, 높이 등 구조물의 3D 측면 계측이 어렵다는 점은 한계다. 전자빔을 쏘면 전자회로 등 제품에 충격을 준다는 단점도 있다.

원자현미경은 광학현미경과 전자현미경의 한계와 단점을 모두 극복하기 위해 개발된 장비다. 해상도가 매우 높아 서브나노급 단위 측정은 물론 3D 계측이 가능하고, 시료에 충격을 주지도 않는다. 반도체 디바이스의 미세화와 고집적화로 원자현미경이 아니면 모니터링할 수 없는 공정들이 늘어나면서 필요성이 커지고 있다. 기존에는 반도체, 소재화학, 생명과학 등에서 연구용으로만 활용돼왔다면 점차 산업용 수요가 많아지는 상황이다.

인피니티시마는 여기서 사업 기회를 찾으며 20년 넘게 원자현미경 연구개발을 진행해왔다. 물론 기존 플레이어들은 존재한다. 연구용으로는 미국 나스닥 상장사인 브루커(Bruker)가 시장을 점유 중이고, 산업용 시장은 국내 상장사 파크시스템스가 선두업체로 자리를 잡았다. 그러나 검사 속도가 매우 느린 탓에 반도체 칩메이커들의 양산공정(인라인)에 도입되기 보단 제품에 문제가 발생해 샘플테스트를 진행할 경우에만 부분적으로 쓰인다.

반면 인피니티시마는 속도를 끌어올려 빠르면서도 정확하게 계측 가능한 장비를 개발 중이라는 점에서 투자자들이 주목하고 있다. 관련 27개 특허를 보유했고, 이에 기반한 독자기술로 기존 원자현미경 장비 대비 100배 이상 빠른 검사 속도를 구현할 수 있다.

이미 수년전부터 반도체 장비사나 연구기관을 대상으로 모듈형태의 장비를 납품해왔으며, 일정부분 기술을 검증해왔다. 기존 원자현미경의 한계였던 양산 검사장비로서의 제약성을 극복할 수 있는 대체재로 부상하는 상황이다.

내년부터는 양산 공급 가능성이 있어 실적 상승이 본격화될 것이란 기대감이 투자자들 사이에서 감지된다. 현재 복수 글로벌 칩메이커들을 대상으로 장비 테스트를 진행 중으로, 납품 결정을 하기 직전인 제품 검증 단계까지 대화가 진전됐다는 점에서다. 연내 유의미한 협상 결과를 이끌어내 실적 상승세를 보일지 주목된다.