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'EUV PR 국산화 큰별' 이부섭 동진쎄미켐 회장 별세 차남 이준혁 부회장 승계 절차 개시 전망

노태민 기자공개 2025-02-25 13:57:12

이 기사는 2025년 02월 25일 11시33분 thebell에 표출된 기사입니다

반도체 노광 공정 핵심 재료 포토레지스트(PR) 국산화를 이끈 이부섭 동진쎄미켐 회장(사진)이 25일 별세했다.

이 회장은 1937년생으로 경기고에 진학한 뒤 서울대 화학공학과에서 학사 학위를 받았고 동 대학원에서 석사학위를 취득했다. 그가 동진쎄미켐을 창업한 건 1967년이다. 당시 회사 이름은 동진화학공업이었다. 설립 직후에는 PVC와 고무 발포제 등을 생산했다.
이후 1989년 전자재료 사업에 뛰어들었다. 미국, 독일, 일본에 이어 세계에서 4번째로 자체 개발했다. 동진쎄미켐은 1994년 삼성전자에 4메가 D램용 포토레지스트를 공급하는 데 성공했다.

1999년 코스닥 시장에 상장했으며 이후 시가총액 1조5000억원이 훌쩍 넘는 중견 소재 기업으로 성장했다.

동진쎄미켐은 한일 무역분쟁 당시에도 활약했다. 일본 정부가 극자외선(EUV) PR 수출을 막으면서 국내 삼성전자, SK하이닉스의 EUV PR 확보가 어려워지자 개발에 나섰다. EUV PR은 일본 JSR, 스미토모화학 등이 과점하고 있는 제품이다.

성공적 결과를 냈다. 수개월 동안 검증 작업을 거친 뒤 삼성전자에 EUV PR를 납품하는 데 성공했다. EUV PR은 포지티브, 네거티브 제품이 있다. 동진쎄미켐은 각각 2022년, 2023년 삼성전자에 공급을 시작했다. 이에 그치지 않고 차세대 제품인 금속산화물레지스트(MOR) 개발도 진행 중이다.

업계에서는 이부섭 회장의 차남 이준혁 동진쎄미켐 부회장이 후계자로 보고 있다. 이 부회장은 동진홀딩스의 지분을 직접 보유하고 명부산업, 미세테크 등을 내세워 지배력을 보충하고 있다. 동진홀딩스는 동진쎄미켐의 지분 32.49%를 보유한 최대주주다.

이 부회장이 보유 중인 동진홀딩스 지분은 17.77%다. 이외에도 명부산업과 미세테크를 통해 동진홀딩스 주식을 간접적으로 보유 중이다. 명부산업은 이준혁 부회장이 지분 80%를 보유한 법인이다. 명부산업은 현재 동진홀딩스의 지분을 7.02% 보유하고 있다. 미세테크는 이 부회장이 52%를 보유 중인 법인으로 이곳이 동진홀딩스 지분 11.59%를 보유 중이다.

이 부회장이 회사의 핵심 사업부인 전자재료 사업을 담당하고 있다는 점도 그가 유력한 후계자로 꼽히는 이유다. 이 회장의 장남인 이준규 부회장은 동진쎄미켐의 발포제 사업부를 맡고 있다.
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