이 기사는 2024년 10월 25일 16시41분 thebell에 표출된 기사입니다

에프에스티(FST)가 도쿄일렉트론(TEL), 램리서치 등 반도체 장비 기업에 극저온 식각 공정용 칠러를 공급 중이다. 향후 삼성전자, SK하이닉스 등 메모리 반도체 기업이 차세대 낸드에 극저온 식각 공정을 대거 도입할 것으로 예상되는 만큼, 에프에스티의 칠러 매출 확대가 기대된다.

최근 에프에스티 관계자는 서울 강남구 코엑스에서 열린 반도체대전(SEDEX 2024)에서 기자와 만나 "TEL에서 위탁생산(OEM)을 받아 극저온 식각 공정용 칠러를 생산 중"이라며 "램리서치 (R&D 거점인) 코리아테크놀로지센터에도 극저온 (식각 공정용) 칠러를 공급했다"고 말했다.

극저온 식각은 400단 이상의 낸드 채널홀 식각에 사용될 것으로 전망되는 차세대 기술이다. 글로벌 반도체 장비 기업인 TEL과 램리서치가 관련 장비를 개발·출시를 준비 중이다. 극저온 식각 장비의 가장 큰 특징은 매우 낮은 온도에서 고속으로 식각이 진행된다는 점이다.

TEL은 지난해 발표한 논문을 통해 극저온 식각 기술 적용 시 33분만에 10마이크로미터(um) 수준의 낸드 채널홀 식각이 가능하다고 발표한 바 있다. 이는 기존 식각 장비보다 3배 이상 빠른 속도다.

칠러는 극저온 식각 공정 구현을 위한 핵심 장비 중 하나다. 칠러는 반도체 챔버의 온도를 조절하는 데 쓰이는 장비로, 극저온 식각 공정에서 그 중요성이 더욱 높아졌다. 극저온 식각 공정 구현을 위해서는 칠러 온도를 영하 70~80℃ 수준으로 맞춰야 한다.

극저온 식각 공정용 칠러의 경우 기존 칠러와 비교해 가격도 높다. 에프에스티 관계자는 "구체적인 가격을 오픈할 순 없지만, (극저온 식각 공정용 칠러가) 기존 칠러와 비교해 가격이 2.5배 이상이다"라고 설명했다.

극저온 식각 장비 도입이 본격화되면 에프에스티의 블렌디드 칠러 평균판매단가(ASP)는 크게 늘어날 것으로 예상된다. 올 2분기 기준 에프에스티의 블렌디드 칠러 ASP는 내수 4100만원, 수출 7363만원이다.

극저온 식각 기술에 대한 칩메이커의 관심도 높다. 삼성전자와 SK하이닉스뿐 아니라 다양한 낸드 기업들이 극저온 식각 기술을 연구 중이다. 특히 삼성전자의 경우 P3 라인에 TEL의 극저온 식각 장비를 반입해 관련 테스트를 진행 중인 것으로 알려졌다. 업계에서는 삼성전자가 V10, V11 등부터 극저온 식각 기술을 적용할 것으로 보고 있다.

한편 에프에스티는 올 반기(연결기준) 1009억원 매출, 23억원 영업손실을 기록했다. 이중 재료 사업부가 532억원 매출, 장비 사업부가 469억원 매출을 기록했다. 극저온 식각 공정용 칠러와 극자외선(EUV) 펠리클 공급이 본격화되면 실적은 크게 개선될 것으로 보인다.